実験装置│ナノ構造工学領域

ナノマニピュレータ

TEM・SEMに搭載するナノマニピュレーション装置。電子顕微鏡内で探針を３次元方向に数ナノメートルの精度で操作して、狙った一本のカーボンナノチューブなどをピックアップしたり、変形・加工したり、通電したり、電気特性を測定 […]

名前の通り、透過電子を光源に用いる顕微鏡。透過電子顕微鏡（TEM）では、加速された電子を平面波として対物レンズを通じて試料に照射する。このとき、ほとんどの電子は透過するが、ある確率で、試料中の原子との相互作用により弾性 […]

真空中の物体表面に細く絞った電子線を照射しながら走査したときに、各地点で発生する２次電子線や反射電子線などの信号をそれぞれの検出器を用いて取り出し、その強度をモニタ上に輝点列の像として表示する電子顕微鏡。本研究室では […]

化学気相蒸着 [Chemical Vapor Deposition（CVD）] を行うための反応炉。本研究室では、カーボンナノチューブ（CNT）や、カーボンナノコイルを高効率で安定に合成できるよう、設計されている。 C […]

走査プローブ顕微鏡(SPM)は、微細な先端をもつ探針を走査して物質表面をなぞり、形状を明らかにする顕微鏡。試料表面の原子との相互作用力を検出しながら像を得る顕微鏡を、原子間力顕微鏡（AFM）という。 &n […]

スパッタリング蒸着では、イオン化したガスを蒸着源（ターゲット）に照射して、はじき出された原子・分子を別の場所においた基板上に堆積させる。本研究室では、カーボンナノチューブ、カーボンナノコイル合成のための触媒やバッファー […]

タングステンなどの高融点金属のボートを真空中で通電加熱して温めると、その上に乗せた試料を蒸発させることができる。シンプルかつクラシカルな装置だが、ナノメートルレベルの厚さの薄膜やナノ粒子が形成できる強力な […]