ナノ構造工学領域

大阪大学工学研究科　機械工学専攻平原研究室 ／附属アトミックデザイン研究センター量子設計部門量子表面構造設計分野

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研究室移転

スパッタリング蒸着装置

スパッタリング蒸着では、イオン化したガスを蒸着源（ターゲット）に照射して、はじき出された原子・分子を別の場所においた基板上に堆積させる。

本研究室では、カーボンナノチューブ、カーボンナノコイル合成のための触媒やバッファー層の作製、TEM観察用基板導電コートなどに用いている。