ナノ構造工学領域

大阪大学工学研究科　機械工学専攻平原研究室 ／附属アトミックデザイン研究センター量子設計部門量子表面構造設計分野

NEW ARTICLE
論文が掲載されました

抵抗加熱式真空蒸着装置

 
タングステンなどの高融点金属のボートを真空中で通電加熱して温めると、その上に乗せた試料を蒸発させることができる。
シンプルかつクラシカルな装置だが、ナノメートルレベルの厚さの薄膜やナノ粒子が形成できる強力なツールである。