CVD炉

化学気相蒸着 [Chemical Vapor Deposition(CVD)] を行うための反応炉。 本研究室では、カーボンナノチューブ(CNT)や、カーボンナノコイルを高効率で安定に合成できるよう、設計されている。 CVD法では、触媒となる金属を基板上に散布した状態、または反応管中に浮遊させた状態で、水素やアルゴンなどの雰囲気下で炭素源となるガスを加熱して熱分解させる。これにより触媒に炭素を供給し、 触媒を核としてナノチューブやナノコイルが成長する。エアログラファイトのように、触媒を用いない系もある。

 

CVD炉.

 

合成直後の試料

 

 

合成した高配向CNTのSEM像

 

 

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