CVD炉

• 2015.04.05
• 実験装置

化学気相蒸着 [Chemical Vapor Deposition（CVD）] を行うための反応炉。 本研究室では、カーボンナノチューブ（CNT）や、カーボンナノコイルを高効率で安定に合成できるよう、設計されている。 CVD法では、触媒となる金属を基板上に散布した状態、または反応管中に浮遊させた状態で、水素やアルゴンなどの雰囲気下で炭素源となるガスを加熱して熱分解させる。これにより触媒に炭素を供給し、 触媒を核としてナノチューブやナノコイルが成長する。エアログラファイトのように、触媒を用いない系もある。

 

 

 

 

 

 

これまでの研究に関する記事

• CNTヤモリテープで、宇宙帰還物質の高精度解析に貢献
• 世界ふしぎ発見で共同研究成果を紹介していただきました。
• とげとげの球殻を持つaerographiteマイクロ粒子の力学特性

など

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