学会発表

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M1山村君が日本顕微鏡学会第71回学術講演会(5/13-15, 京都)で発表しました。 M1福田君、M2平石君が国際会議(The 16th Internatio […]

ナノマニピュレータ

TEM・SEMに搭載するナノマニピュレーション装置。 電子顕微鏡内で探針を3次元方向に数ナノメートルの精度で操作して、狙った一本のカーボンナノチューブなどをピッ […]

透過電子顕微鏡:TEM

名前の通り、透過電子を光源に用いる顕微鏡。 透過電子顕微鏡(TEM)では、加速された電子を平面波として対物レンズを通じて試料に照射する。このとき、ほとんどの電子 […]

走査電子顕微鏡:SEM

真空中の物体表面に細く絞った電子線を照射しながら走査したときに、各地点で発生する2次電子線や反射電子線などの信号をそれぞれの検出器を用いて取り出し、 その強度を […]

CVD炉

化学気相蒸着 [Chemical Vapor Deposition(CVD)] を行うための反応炉。 本研究室では、カーボンナノチューブ(CNT)や、カーボンナ […]

スパッタリング蒸着装置

スパッタリング蒸着では、イオン化したガスを蒸着源(ターゲット)に照射して、はじき出された原子・分子を別の場所においた基板上に堆積させる。 本研究室では、カーボン […]

抵抗加熱式真空蒸着装置

  タングステンなどの高融点金属のボートを真空中で通電加熱して温めると、その上に乗せた試料を蒸発させることができる。 シンプルかつクラシカルな装置だが […]

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