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実験装置
中山研で研究に用いている装置を紹介します。
スーパーナノファクトリー
高分解能透過電子顕微鏡(HRTEM)
JEOL JEM-2500SE
透過電子顕微鏡(TEM)
JEOL JEM-1200EX
走査型電子顕微鏡(FE-SEM)
HITACHI S-4500
スパッタリング蒸着装置
真空蒸着装置
表面粗さ計
環境制御型走査型プローブ顕微鏡
マニピュレーション付き走査型プローブ顕微鏡
CVD装置