真空蒸着装置


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真空蒸着装置
JEOL JEE-4X
M1-716

　真空にした容器の中で、 AlやAuなどの蒸着材料を加熱し気化もしくは昇華させて基板の表面に付着させ、 薄膜を形成する装置。



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