スパッタリング蒸着装置

イオン化したガスをターゲットに照射して、 はじき出された原子・分子を別の場所においた基板上に蒸着する装置。本研究室では、カーボンナノチューブ、カーボンナノコイル合成のための、 触媒ナノ粒子や基板バッファー層の作製に用いている。