走査型電子顕微鏡(FE-SEM) HITACHI S-4500

真空中の物体に細い電子線を照射したときに発生する２次電子線や反射電子線などの 信号をそれぞれの検出器を用いて取り出し、その強度をモニタ上に輝点列の像として表示する電子顕微鏡。